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碳化硅作為第三代半導體，它的主要成分還是以綠硅微粉作為主要原料，除此之外還會在加工過程中，添加一些硼磷等離子防止高溫變形，綠硅微粉中的氯離子，在電子電力器件中可以提高電能利用率，還能降低導通電阻以及開關的損耗等等。