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大面積CVD石墨烯生長設備重點
報價:面議
品牌: 貝意克
產(chǎn)地: 安徽
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型號:
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產(chǎn)品介紹

大面積CVD石墨烯生長設備

 

設備尺寸

Φ300*2800mm

爐管尺寸

Φ300*3000mm

**進料量

20Kg

加熱元件

進口KTL電阻絲

加熱區(qū)數(shù)量

3-8區(qū)(可根據(jù)需求定制)

**溫度

室溫至1200℃,連續(xù)可調

控溫方式

人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制

無紙記錄

內置存儲記錄運行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)

結構描述

①設備可電動對半開啟,自動控制冷卻降溫系統(tǒng).實現(xiàn)可控冷卻速度.

②在進料端配備2路高精度質量流量計系統(tǒng),準確控制氣體流量,可以實現(xiàn)生產(chǎn)工藝拓展和調整。

③系統(tǒng)采用自動化工藝流程,設定好工藝一鍵操作。降低人為因素,工藝可靠性可以達到99.9%;

④機械泵系統(tǒng):1pa,另外配備微調系統(tǒng),確保可以在穩(wěn)定負壓下生長石墨烯;可實現(xiàn)日產(chǎn)20萬平方厘米石墨烯薄膜

腔體

采用內控溫和外控溫相互切換,防止石英折射和散射造成的溫場不均勻現(xiàn)象

供氣系統(tǒng)

三路質量流量計


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