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TVS-40T

該設(shè)備用于在無油真空下存儲(chǔ) TEM 支架。通過使用該設(shè)備可以大大減少污染物的附著。

由于它們存放在獨(dú)立的真空室中，因此可以單獨(dú)取出。TEM支架端口根據(jù)客戶的 TEM 支架制造,

關(guān)于 TEM 持有人

配備 4 個(gè) TEM 支架端口。我們將創(chuàng)建一個(gè)與您的支架匹配的端口。可以對(duì)應(yīng)TEM制造商的特殊支架由于獨(dú)立的排氣系統(tǒng)，更換支架時(shí)其他存儲(chǔ)支架不會(huì)暴露在大氣中。配備玻璃窗(NW40 法蘭)以查看每個(gè)支架樣品部件

可操作性

配備觸摸屏，操作方便。配備程序控制的自動(dòng)排氣順序和聯(lián)鎖控制。

泵的維護(hù)時(shí)間顯示在屏幕上并通知。

關(guān)于選項(xiàng)

燈管加熱裝置

加熱方式:采用帶聚光凹鏡透鏡的鹵素?zé)艏訜帷?/p>

散熱方式:風(fēng)扇風(fēng)冷散熱。

溫度控制:熱電偶測(cè)溫PID控制，帶電子定時(shí)開關(guān)控制電源尺寸:535 Wx550 Dx185 H

等離子清洗裝置

電源:AC100V(單相100V)3A，使用地線三腳插頭清洗對(duì)象:電子?xùn)|照射沉積的污染物的去除和附著氣體引入:針閥手動(dòng)調(diào)節(jié)，電磁閥ON/OFF方式吹掃等離子氣體:兼容空氣、氬氣、氬氣/氧氣等安全措施:采用系統(tǒng)專用保險(xiǎn)絲

等離子電源:頻率13.56 MHz，輸出0 ~50 W 可變輸出顯示數(shù)字儀表

等離子點(diǎn)火指示燈 等離子照射時(shí)間控制電子定時(shí)器定時(shí)器:0至1、2、3、12、30/sec、min、hr 各自由設(shè)定。電子定時(shí)器

等離子電源尺寸:250WX300DX135H重量 9Kg等離子槍尺寸:70mm中X220L等離子槍安裝 NW-40氣體:0.08 至 0.1 MPa，管道1/4"Swagelok(氣瓶和減壓閥由用戶)