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單溫區PE-CVD系統新品
報價：面議
| 品牌： | 科冪 |
| 產地： | 安徽 |
| 關注度： | 958 |
| 型號： | 單溫區PE-CVD系統 |
核心參數
非金屬電熱元件：硅鉬棒
金屬電熱元件：鐵鉻鋁絲
燒結氣氛：其他
溫控精度：±1℃
最高溫度：1150℃
額定溫度：1100℃
產品介紹
產品特點
高性能射頻電源.等離子體更穩定；
滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區；
可實現快速升溫和降溫功能；與傳統CVD相比較，生長溫度更低。
技術參數
| 項目 | 型號 | TFE - 1200 - 50 - 220 |
| **溫度 | 1150℃（短期） | |
| 額定溫度 | 1100℃ | |
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
| 控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
| 爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
| 加熱區長度 | 220mm | |
| 恒溫區長度 | 80mm | |
| 加熱元件 | 優質國產電阻絲 | |
| 額定功率 | 3KW | |
| 供氣系統 | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） | |
| 射頻電源 | 射頻功：5-500W； 射頻頻：13.56MHz； 匹配方式：自動匹配 | |
| 真空系統 | 雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等） | |
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
問商家
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供應產品
安徽科冪儀器有限公司為您提供科冪單溫區PE-CVD系統，單溫區PE-CVD系統產地為安徽，屬于管式爐，除了單溫區PE-CVD系統的參數、價格、型號、原理等信息外，還可為您提供MSI智能型機械攪拌反應釜、聚酯反應釜裝置、實驗級回轉爐。
工商信息
企業名稱
安徽科冪儀器有限公司
企業類型
信用代碼
91340100095928230X
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍
