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【提拉爐】晶體生長系統(tǒng):剛玉管內精準操作,伺服電機均勻提拉,實現(xiàn)高效穩(wěn)定的單晶生長環(huán)境

合肥康帕因

1700系列單溫區(qū)真空提拉爐 LFT1700C 100D80-TSSG VC


該設備為真空或者氣氛保護條件下的晶體生長設備,樣品處理位于剛玉管內,剛玉管兩端均有真空法蘭密封。上端通過壓縮波紋管和真空旋轉接頭與電機相連。可滿足樣品在真空或者氣氛條件下的旋轉和提拉。



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保溫材料采用真空吸附成型的氧化鋁纖維無機材料,環(huán)保節(jié)能,不含污物,潔凈,美觀。加熱元件采用優(yōu)質硅鉬棒,性能優(yōu)越,環(huán)形加熱結構設計,提高設備使用穩(wěn)定性。


控溫方式:采用智能 PID 程序控制,控溫精度高、重復性好,具有超溫和斷偶報警功能。方便用戶自行探索所長晶體最適合的溫度梯度。


提拉機構控制系統(tǒng):采用伺服電機系統(tǒng),提拉速度均勻穩(wěn)定,改善單晶生長環(huán)境。


設備固定裝置預留好連接桿的固定裝置,可用于連接鉑金絲或者提拉桿。(鉑金絲用戶自配)標配有1套提拉桿,用于連接客戶生長晶體所用的籽晶桿。


技術參數(shù)

PARAMETER

型號 LFT1700C 100D80-TSSG VC

設備重量 150KG

外型尺寸(長*寬*高) 775*720*2310mm

額定功率 4KW

額定電壓 AC220V

空氣開關 25A

最高溫度 1650℃(<1hr)

額定溫度 <1600℃

升溫速率 ≤10℃/min

控溫精度 ±1℃

控溫方式 模糊 PID 程序控溫(自整定調節(jié) 30段可調程序控溫)

熱電偶型號 B型

加熱元件 硅鉬棒

加熱區(qū)尺寸 100mm

爐管尺寸 Ф80*700mm

提拉速度 1-100mm/h

旋轉速度 1-100r/min

升降速度 40mm/min(可手動控制)

提拉行程 200mm

康帕因  2025-01-13  |  閱讀:1315
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