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深圳市藍星宇電子科技有限公司

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制樣/消解設備

德國Nano analytik掃描針尖電子束光刻機SPL

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SUSS蘇斯光刻機用曝光燈HBO 200W/DC，HBO 300W/S

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德Zeiss Sigma SEM電子束直寫儀

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德國Raith高分辨電子束曝光機150 Two

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德國Eulitha高分辨紫外光刻機PhableR 100

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瑞典Mycronic光刻機Prexision-800

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瑞士Swisslitho 3D納米結構高速直寫機NanoFrazor

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英國Durham小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3

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英國Nanobean NB5電子束光刻機

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日本JEOL圓形電子束光刻機JBX-8100FS

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