1 年
高級會員
已認(rèn)證
磷化銦單晶生長爐
報(bào)價(jià)：面議
| 品牌： | 育豪微電子 |
| 產(chǎn)地： | 山東 |
| 關(guān)注度： | 800 |
| 型號： | 磷化銦單晶生長爐 |
核心參數(shù)
非金屬電熱元件：其他
金屬電熱元件：其他
燒結(jié)氣氛：其他
產(chǎn)品介紹
一、設(shè)備概述：
主要應(yīng)用于 3-6 英寸磷化銦、磷化鎵III-V 族化合物半導(dǎo)體晶體材料單晶生長工藝，自動控制系統(tǒng)。
二、設(shè)備參數(shù)類型：
設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 手動 |
2 | 管路數(shù) | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-6寸 |
4 | 適用工藝 | 單晶生長 |
5 | 工藝溫度范圍 | 800-1250℃ |
6 | 恒溫區(qū)長度 | 300-800mm |
7 | 控溫精度 | ±0.2℃/＞1280℃恒溫區(qū)內(nèi) |
8 | 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性 | ±0.2℃ |
9 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能 |
10 | 進(jìn)出料方式 | 手動 |
11 | 控溫模式 | Spike控溫 |
12 | 控溫點(diǎn)數(shù) | 4-6點(diǎn) |
13 | 真空機(jī)組： | 直連泵 |
14 | 系統(tǒng)極限真空度： | ＜10Pa |
25 | 抽速： | 抽至極限真空時(shí)間＜10Min。 |
16 | 高壓腔設(shè)計(jì)壓力 | 5MPa |
17 | 工作壓力范圍： | 10 mTorr~500mTorr可調(diào) |
18 | 控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | 一體工控機(jī)+PLC |
19 | 報(bào)警保護(hù): | 具有超溫報(bào)警，超壓報(bào)警，斷偶報(bào)警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能 |
問商家
- 磷化銦單晶生長爐的工作原理介紹？
- 磷化銦單晶生長爐的使用方法？
- 磷化銦單晶生長爐多少錢一臺？
- 磷化銦單晶生長爐使用的注意事項(xiàng)
- 磷化銦單晶生長爐的說明書有嗎？
- 磷化銦單晶生長爐的操作規(guī)程有嗎？
- 磷化銦單晶生長爐的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？
- 磷化銦單晶生長爐有現(xiàn)貨嗎？
- 磷化銦單晶生長爐包安裝嗎？
推薦產(chǎn)品
供應(yīng)產(chǎn)品
青島育豪微電子設(shè)備有限公司為您提供育豪微電子磷化銦單晶生長爐，磷化銦單晶生長爐產(chǎn)地為山東，屬于粉體焙燒爐，除了磷化銦單晶生長爐的參數(shù)、價(jià)格、型號、原理等信息外，還可為您提供立式LPCVD低壓氣相沉積爐、磷化銦多晶合成爐、石墨工裝治具。
工商信息
企業(yè)名稱
青島育豪微電子設(shè)備有限公司
企業(yè)類型
信用代碼
91370214679063197B
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經(jīng)營范圍
