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浙江重點推薦!這3種石英材料發展熱度不減
中國粉體網 2025/9/5 14:56:40 點擊 6053 次
導讀高純石英砂、高純石英材料、大硅片半導體級合成石英坩堝

中國粉體網訊  近日,浙江省經濟和信息化廳正式發布《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2025年版)》,目錄中涉及高純石英砂、高純石英材料、大硅片半導體級合成石英坩堝等材料及相關性能要求。




高純石英砂


性能要求:SiO2純度≥99.999%,15種雜質元素的含量總和≤10ppm,Li/Na/K雜質元素含量總和≤1ppm,面積≥0.1cm2的包裹體平均數量≤2個/cm2


應用領域:光伏、半導體、光纖通信、航空航天領域。


高純石英砂憑借耐高溫、耐腐蝕、高強度、高透光率、低熱膨脹系數等卓越性能,成為半導體、光纖通信、光伏、光學、電光源等領域不可或缺的關鍵材料,更是新一代信息產業、新能源等戰略性新興產業的“基石”。


高純石英材料


性能要求:結構穩定,精密機械加工后尺寸精度可達±0.002,熱加工處理后,應力可以3°以下,材料純度含量達到99.999%,材料表面不允許有任何有色異物。


應用領域:集成電路制造。


在集成電路制造中,石英法蘭、石英坩堝、石英爐管、石英舟架、石英鐘罩等高純石英制品是難以替代的關鍵部件,廣泛用于半導體晶圓制造的擴散、氧化、光刻、刻蝕、清洗等主要流程。


大硅片半導體級合成石英坩堝


性能要求:規格32英寸,內表面各雜質含量≤0.1ppm,透明層微氣泡≤1個/mm2,外徑公差±1mm,厚度公差±0.75mm。


應用領域:半導體領域單晶硅棒生產。


石英坩堝作為石英玻璃制品的細分品類,雖看似普通,卻是半導體產業的“剛需品”。大硅片半導體級合成石英坩堝具備潔凈、同質、耐高溫等特性,是拉制單晶硅、制作單晶硅片及發展大規模集成電路不可或缺的“載體容器”,主要用于裝放多晶硅原料或單晶回收料。


為何要聚焦“大尺寸”?這背后藏著產業降本增效的邏輯:硅片尺寸越大,單片硅片上可制造的芯片數量就越多,單位芯片成本隨之降低;同時,圓形硅片制造矩形芯片時,邊緣會存在無法利用的區域,硅片尺寸越大,邊緣浪費占比越小,進一步提升材料利用率。


參考來源:

浙江省經濟和信息化廳;中國粉體網

左政等.石英部件在半導體領域應用及市場概覽


(中國粉體網編輯整理/九思)

注:圖片非商業用途,存在侵權告知刪除


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