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| 品牌: | kyky |
| 產地: | 北京 |
| 關注度: | 3075 |
| 型號: | SBC-16 |
濺射氣體:放氣以及氬氣換氣控制
控制方式:自動
靶材材質:Au 靶為標配,可選 Pt,直徑 57mm x 0.1mm 厚
樣品臺尺寸:可以裝載 12 個 SEM 樣品座,高度可調范圍為 60mm
SBC-16 是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統,特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
主要特性
通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
操作容易快捷, 控制的參數包括放氣以及氬氣換氣控制。
數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氣壓影響,可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au 靶為標配), 靶材更換快速方便。
技術參數
濺射系統 | |
靶材 | Au 靶為標配,可選 Pt,直徑 57mm x 0.1mm 厚 |
標準樣品臺 | 可以裝載 12 個 SEM 樣品座,高度可調范圍為 60mm |
旋轉傾斜樣品臺(選配) | 旋轉速度: 0~60rpm 連續可調,傾斜角度: -90 °~ 90°連續可調; 不銹鋼腔體:直徑 120mm X 高 75mm; 觀察窗:直徑 120mm X 高 45mm; 標配旋轉臺直徑 40mm,可放 4 個標準樣品臺, 其它規格可訂做; 具有雙重鎖緊裝置, 可確保樣品在旋轉傾斜時不會松動脫落。 |
濺射電流 | 微處理器控制, 安全互鎖,可調,電流 5~30mA,程序化數字控制 |
計量表 | 真空: Atm - 1*10-3 mbar,電流: 0~99mA |
控制方法 | 帶有 “開始”“暫停”按鈕的微處理控制器(1-999s),自動抽氣、濺 射、關機后自動放氣。 |
真空系統 | |
抽氣速率 | 133L/MIN |
極限真空 | 10-4 mbar 級 |
噪音 | 56dB |
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