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合肥科晶材料技術有限公司
  • 科晶
    參考報價：電議
    型號：OTF-1200X-50S-PE
    產地：安徽
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    • 詳細介紹：


    小型PECVD管式爐系統

    • 型號：

    • OTF-1200X-50S-PE

    • 產品概述：

    • OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統（PECVD）。該設備配有等離子射頻電源，開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及一個直聯式雙旋機械泵。此套設備模型可組合為不同類型的PECVD系統，且設備性價較為理想。

    設備名稱

    小型PECVD管式爐系統——OTF-1200X-50S-PE （2019.12.23—科晶實驗室審核）

    產品提示

    1、多種配件可選提示   2、特殊設備尺寸設備   3、科晶實驗室邀請提示   4、配件妥善保管提示

    產品特點

    ? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

    ? 整套設備尺寸小巧；

    ? 可通過工藝調節來控制化學計量；

    ? 可通過射頻電源的頻率來進行控制薄膜的應力。

    加熱爐參數

    ? **溫度：1100℃（<30min）；連續工作溫度：1000℃；

    ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃；

    ? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

    ? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命。


        



    更多參數請聯系科晶銷售部

    射頻電源

    ? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。


    300W射頻電源500W射頻電源100W射頻電源輸出功率0-300W可調（穩定性：±1%）0-500W可調（穩定性：±1%）0-100W可調（穩定性：±1%）射頻頻率13.56 MHz（穩定性：±0.5%）13.56 MHz（穩定性：±0.5%）13.56 MHz（穩定性：±0.5%）匹配自動匹配自動匹配手動匹配噪音＜50dB＜50dB＜50dB冷卻方式風冷風冷風冷輸入電壓AC180-250VAC108-250VAC110-240V圖片  
    真空系統

    ? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

    ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

    ? 真空度可達10-2Torr。


    供氣系統

    ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

    ? 流量范圍:


    一路0-100 sccm二路0-200 sccm三路0-200 sccm四路0-500 sccm


    ? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

    ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

    ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

    ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。


          

    產品尺寸和重量

    ? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H

    ? 凈重：75 kg 

    認證

    ? CE認證

    ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證

    ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證


    承諾

    ? 一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）