廣泛應用于面板、太陽能、冶金系統、鍍膜、電漿制程、干燥處理、制程氣體抽取、制程氣體抽取、生技/制藥、化工產業。
排氣路徑短，減少反應物沉積
線型密封性佳，泵浦性能優
結構簡單，故障率低，維修容易
微電腦操作，遠端監控，保護周全
500-1500m3/h(50Hz)
600-1800m3/h(60Hz)
1X10-3mbar
