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高純度石墨根據均勻細顆粒的特性可作為低原子序數材料，對離子、等離子具有較強的抗轟擊能力，很強的抗腐蝕性，純度高沒有金屬離子不會對半導體產生污染，金屬部件暴露在離子注入設備中會造成高的損耗，故這時應用相應的石墨件來作屏蔽罩。