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在半導(dǎo)體工業(yè)中，高純石墨主要是作為加熱系統(tǒng)、保溫罩、電極等存在，采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點(diǎn)。高純石墨的耐腐蝕、抗氧化、導(dǎo)電導(dǎo)熱的優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用到了半導(dǎo)體工業(yè)中，使工件使用壽命更長(zhǎng)、更加減磨省電。