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應(yīng)用范圍：烤盤爐該設(shè)備可適用于LED行業(yè)，半導(dǎo)體制程，烘烤石墨冶具等……

特點(diǎn)：MOCVD制成之LED磊晶石載片盤的清潔，LED再生晶圓（Wafer）之清理處理。