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| 品牌： | 原速光電 |
| 產地： | 深圳 |
| 關注度： | 2215 |
| 型號： | 等離子增強系統 |
儀器原理：其他
設備規格
襯底尺寸：標準尺寸：200mm Dia (8 inch）（可定制)
工藝溫度：溫度范圍：RT~500°C （可定制）
前驅體路數：**支持6路前驅體氣路（可定制)，包含固、液態前驅體源瓶
加熱系統：可加熱溫度范圍：RT~150℃
反應物路數：支持2路反應物氣路（可定制）
載氣：標準：N2, MFC 流量控制（可定制）
等離子體系統：支持4路等離子體氣體（可定制）
射頻功率：0~1000W
壓力監測：雙薄膜規組合（耐腐蝕)，0.005Torr - 1000Torr
本底真空度：<5x10-3 Torr
真空系統：標準油泵
控制系統：19寸顯示器，支持觸控工業級嵌入式工控機，高可靠性，支持擴展
操作系統：Win7 操作系統，工業級可編程邏輯控制器，支持現場總線與實時多任務處理操作
高溫加熱模塊：獨立的源瓶加熱模塊，可支持RT~200℃
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深圳市原速光電科技有限公司
有限責任公司（法人獨資）
91440300MA5EQL0C6X
李哲峰
深圳市寶安區西鄉街道蠔業社區大鏟灣藍色未來科技園二期2棟1層
2017-09-16
5000萬元人民幣
2017-09-16 至 無固定期限
一般經營項目是：國內貿易；經營進出口業務。半機械設備銷售；機械設備租賃；機械設備研發；新材料技術研發；新材料技術推廣服務；技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣；機械零件、零部件銷售；國內貿易代理；功能玻璃和新型光學材料銷售；電子專用材料研發；新型催化材料及助劑銷售；新型陶瓷材料銷售；電子專用材料銷售；表面功能材料銷售；普通機械設備安裝服務。（除依法須經批準的項目外，憑營業執照依法自主開展經營活動）；租賃服務（不含許可類租賃服務）。（除依法須經批準的項目外，憑營業執照依法自主開展經營活動），許可經營項目是：專用設備制造（不含許可類專業設備制造）；普通機械設備安裝服務；通用零部件制造；機械零件、零部件加工；貨物進出口；電子專用材料制造；專用設備制造（不含許可類專業設備制造）；通用零部件制造；機械零件、零部件加工。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動，具體經營項目以相關部門批準文件或許可證件為準）；物業管理。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動，具體經營項目以相關部門批準文件或許可證件為準）
