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真空爐

• VHP-H 真空熱壓爐（臥式）
• VHP-V 真空熱壓爐（立式）
• VHP-S 小型真空熱壓爐
• VHP-D 氮化硅陶瓷真空熱壓爐
• VHP-D 二硼化鈦真空熱壓爐
• VHP 實驗室用真空熱壓爐
• VSF-H 臥式真空燒結爐
• VSF-H 臥式真空釬焊爐
• VSF-H 一體式真空釬焊爐
• VDSF 真空脫脂燒結爐
• VSF-S 小型真空燒結爐
• VSF-V 立式真空燒結爐

粉體焙燒爐

• VSF-V 石英槽沉爐
• VSF-V 石英砂熔融爐
• VSF-P 真空-高壓氣氛燒結爐

壓制設備

• ECAP 等通道轉角擠壓設備
• VPI-C/C 臥式真空瀝青壓力浸漬設備
• VPI-M 真空壓力浸漬設備

半導體行業專用儀器

• CVD 真空化學氣相沉積設備