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| 品牌： | 柔陶新材料 |
| 產地： | 江蘇 |
| 關注度： | 4260 |
| 型號： | 高純度納米氧化鋁分散液 |
品級：工業級
外觀：液體
高純度納米氧化鋁分散液
該產品使用納米ɑ-Al2O3，制備高純度、高固含量，低粘度的納米分散液，其具備優異的分散性和 穩定性，顆粒尺寸分布狹窄，不易二次團聚，可以長期存儲穩定無沉淀。產品優勢：更高的拋光去除率、更少的劃傷、更低表面粗糙度、無需再分散、更易操作
產品參數 拋光參數
型 號 | JAN80 | JS200 | JB200 | JB500 | |
外觀 | 白色液體 | ||||
晶型 | ɑ相 | ||||
二次粒徑D50(μm） | 0.1-0.15 | 0.15-0.2 | 0.15-0.2 | 0.5-0.6 | |
pH | - | 酸堿性可調 | |||
固含量 | % | 20-30 | |||
純度 | % | >99.99 | 99.9 | ||
包裝 | 25kg/桶（電子級PE塑料桶），避光、通風、密封保存 | ||||
型 號 | JS200 | JB200 | JB500 | ||
拋光液參數 | 氧化鋁含量5%，高錳酸鉀含量3% | ||||
PH | 酸性 2-3，堿性8.5-9.5 | ||||
拋光工藝 | 6寸碳化硅襯底片，8PSI，1.5L/h循環流量，60rrp轉速 | ||||
酸性 | Si面 | MRR(um/h) | 5-6 | 5-6 | 6-7 |
Ra值(nm) | <0.2 | <0.2 | <0.2 | ||
堿性 | Si面 | MRR（um/h） | 3.5-4 | 3.5-4 | 4-5 |
Ra值(nm) | <0.2 | <0.2 | <0.2 | ||
應用領域
芯片 二三代晶圓 液晶顯示屏圖層
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蘇州柔陶新材料有限公司
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顧紅華
蘇州市相城區陽澄湖鎮鳳陽路432號8號樓東側一、二層
2019年12月23日
583.333萬元整
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