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硅碳負極流化床氣相沉積爐新品
報價:面議
品牌: 力信達
產地: 江西贛州
關注度: 3017
型號: LHC-20
核心參數

非金屬電熱元件:其他

金屬電熱元件:鐵鉻鋁絲

燒結氣氛:其他

溫控精度:±5

最高溫度:1050

額定溫度:800

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產品介紹

一、設備簡介

碳基前驅體添加到流化床沉積爐內,通入高溫氣體,硅烷高溫裂解,沉積在多孔碳的表面,得到包覆改性物料,相比傳統CVD爐氣固相接觸充分,包覆硅時包覆層比傳統工藝更均勻,反應區的溫度控制均勻,溫度精度一致性更好。

二、技術參數

1. 載氣:N2、H2、Ar

2. 反應氣體:CH4、C2H2、C3H6、SiH4

3. 每批處理量: 10kg≤Q≤150kg

4. 操作溫度: ≤800℃

5. 操作壓力: ≤10Kpa

6. 卸料溫度: ≤200

7. 氧指數: ≤50ppm





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江西力信達高新裝備有限公司為您提供力信達硅碳負極流化床氣相沉積爐,硅碳負極流化床氣相沉積爐產地為江西贛州,屬于回轉爐,除了硅碳負極流化床氣相沉積爐的參數、價格、型號、原理等信息外,還可為您提供LXHZ-1500連續式回轉爐、氫氣回轉還原爐、氧化回轉煅燒爐。
工商信息
企業名稱

江西力信達高新裝備有限公司

企業類型

信用代碼

913607005761487105

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