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| 品牌： | 智熱裝備 |
| 產地： | 合肥 |
| 關注度： | 1797 |
| 型號： | BF220-17NH |
非金屬電熱元件：其他
金屬電熱元件：其他
燒結氣氛：氮氣
溫控精度：±1℃
最高溫度：1650℃
額定溫度：1600℃
靜電卡盤又稱靜電吸盤（ESC），是半導體設備中價值比較高的部件之一；用于半導體工藝中的硅片夾持，利用靜電吸附原理來固定硅片。近年來，隨著國家加大半導體領域的投入，我國半導體設備采購額逐年增加，推動了包括靜電吸盤（ESC）在內的核心部件的采購量增長。此外，隨著中國大陸晶圓產能的建設和擴產，中國成為全球晶圓產能增長的重心，帶動國產半導體設備的需求增長，為國產靜電吸盤（ESC）的發展提供了良好的機遇。
陶瓷靜電卡盤由含有置入其內的至少一個電極層的陶瓷圓盤構成，通常使用多層陶瓷共燒工藝進行制備，采用絲網印刷導電漿料（鎢、鉬）在一個或多個陶瓷生坯片（氧化鋁或氮化鋁材質）上形成電極。將印刷好的生坯片按照要求進行疊層共燒后，經過精加工得到陶瓷圓盤。
為解決燒結設備依賴進口的問題，我司通過多年積攢的高溫氣氛燒結設備制造經驗，結合國外設備的優點，研發制造出“BF220-17NH高溫氣氛鐘罩爐”設備，專門用于靜電卡盤的高溫共燒工藝，有效尺寸達Φ750×H500。
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合肥智熱裝備有限公司
有限責任公司（自然人投資或控股）
91340121MA2UUEBC8R
臧福海
安徽省合肥市肥西縣經濟開發區方興大道與玉蘭大道西北交口北3號廠房
2020-6-1
500萬
長期
一般項目:烘爐、熔爐及電爐制造;烘爐、熔爐及電爐銷售;智能基礎制造裝備制造;智能基礎制造裝備銷售;機械設備銷售;機械設備研發;技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣;環境保護專用設備銷售;環境保護專用設備制造;普通機械設備安裝服務;電子元器件與機電組件設備銷售;電子元器件與機電組件設備制造;工業機器人安裝、維修;工業自動控制系統裝置制造;工業機器人制造;計算機軟硬件及外圍設備制造;軟件開發;機械零件、零部件加工;機械零件、零部件銷售;進出口代理;技術進出口:貨物進出口(除許可業務外，可自主依法經營法律法規非禁止或限制的項目)
