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北京燕京電子有限公司
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    參考報(bào)價(jià)：電議
    型號：
    產(chǎn)地：德國
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    • 詳細(xì)介紹：


    產(chǎn)品簡介

    EddyCus® TF lab系列產(chǎn)品是一款適合實(shí)驗(yàn)室研發(fā)或成品檢測使用的面阻及膜厚實(shí)時(shí)測量儀器。其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，不僅適用于玻璃、硅、塑料基板上的導(dǎo)電性薄膜的面電阻和厚度的測量，同時(shí)也適用于多種單層膜材料厚度的實(shí)時(shí)測量。根據(jù)傳感器之間距離的不同，EddyCus TF lab可滿足不同的測試需求，傳感器標(biāo)準(zhǔn)距離為10mm，zui大距離可至60mm。

    應(yīng)用領(lǐng)域：

    ·薄膜面電阻的測量

    ·薄膜厚度的測量

    ·導(dǎo)電性基板厚度的測量

    ·與電阻相關(guān)的其他參數(shù)的測量

    技術(shù)特點(diǎn)：

    ·非接觸式實(shí)時(shí)測量

    ·可實(shí)現(xiàn)對幾乎所有平面樣品的測量

    ·測量傳感器與樣品之間的距離及測量 點(diǎn)的大小可調(diào)

    ·掃頻范圍可達(dá)256個頻率點(diǎn)

    ·薄膜厚度測量可至納米量級

    ·操作簡單，軟件功能豐富

    技術(shù)指標(biāo) EddyCus® TF lab-1 EddyCus® TF lab-2
    傳感器之間距離 10mm up to 60 mm possible

    厚度測量 范圍

    		 高導(dǎo)電率材料 (大于 10 MS/m) 5 nm – 50 µm 5 nm – 100 µm
    低導(dǎo)電率材料 (小于 10 MS/m) 10 nm – 1 mm 10 nm – 250 µm
    面阻測量范圍 0，01 – 1000 Ω/sq
    導(dǎo)電率范圍 1– 67 MS/m

    薄膜厚度測量精度

    		 ± 10% from <20 nm

    ± 5% from 20-200 nm

    ± 2，5% from 200nm– 1 µm

    ± 1% from > 1 µm

    面電阻測量精度 (e.g. TCO)

    		 ± 2，5% from 0，01 – 20 Ω/sq

    ± 5% from 20 – 100 Ω/sq

    ± 10% from 100 – 1000 Ω/sq

    傳感器

    可根據(jù)不同應(yīng)用要求配置傳感器

    相關(guān)產(chǎn)品：

    EddyCus-TF lab 2020、

    EddyCus-TF lab4040、

    EddyCus-TF map 2020SR、EddyCus-TF inline、

    EddyCus-TF lab Hybrid

    EddyCus-TF map Hybrid

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    詳詢：北京燕京電子有限公司