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參考報價：電議 型號：
產地：美國 在線咨詢
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產品簡介：
SR系列薄膜分析產品來自美國AST（Angstrom Sun）公司，其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數也可以實現測量，為人們針對薄膜進行分析提供了極大便利。
特點：
· 易于安裝
· 容易操作的基于視窗結構的軟件
· 先進的光學設計，以確保能發揮出**的系統性能
· 基于陣列設計的探測器系統，以確保快速測量
· 獨特的光源設計，有著較好的光源強度穩定性
· 有四種方法來調整光的強度：
§ 通過電源的調節旋鈕來調節電源輸出的大小
§ 在光輸出端口濾光槽內調整濾光片來調整
§ 調整光束大小
§ 通過TFProbe軟件，在探測器里調整積分時間
· *多可測量5層的薄膜厚度和折射率
· 在毫秒的時間內，可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數
· 能夠用于實時或在線的厚度、折射率測量
· 系統配備大量的光學常數數據及數據庫
· 對于每個被測薄膜樣品，用戶可以利用先進的軟件功能選擇使用NK數據庫、也可以進行色散或者復合模型（EMA）測量分析；
· 可升級至MSP（顯微分光光度計）系統，SRM成像系統，多通道分析系統，大點測量。
· 通過模式和特性結構直接測量。
· 提供的各種配件可用于特殊結構的測量，例如通過曲線表面進行縱長測量。
· 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數據管理界面。
系統配置：
· 型號：SR300
· 探測器： 2048像素的CCD線陣列
· 光源：高穩定性、長壽命的鹵素燈
· 光傳送方式：光纖
· 臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調節樣品重量、200mmx200mm的大小
· 軟件： TFProbe 2.2版本的軟件
· 通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連
· 測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率
· 電腦硬件要求：P3以上、*低50 MB的空間
· 電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
· 保修：一年的整機及零備件保修
選項
?1用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR300RT) )
2.*低可測量直徑為5μm(MSP300)
3. 在多個位置下，多個通道用于同時測量(SR300xX)
4. 在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪（SRM300-300/200）
規格：
· 波長范圍：400到1100 nm
· 光斑尺寸：500μm至5mm
· 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm
· 基板尺寸：*多可至50毫米厚
· 測量厚度范圍：20nm到50μm
· 測量時間：*快2毫秒
· 精確度：優于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較）
· 重復性誤差：小于1Ǻ
應用:
•半導體制造（PR，Oxide， Nitride..)
•液晶顯示（ITO，PR，cell gap... ..）
•醫學，生物薄膜及材料領域等
•油墨，礦物學，顏料，墨粉
•醫藥，中間設備
•光學涂層，TiO2， SiO2， Ta2O5... ..
•半導體化合物
•在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜
•非晶體，納米材料和結晶硅
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相關薄膜物性分析產品應用及產品技術問題，
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薄膜物性分析儀器系列（膜厚，光學參數，反射譜及顏色，膜面阻，等）
膜厚，光學參數：
SR100 薄膜分析儀
SR300 薄膜分析儀
SR500 薄膜分析儀
SE200BA 橢偏薄膜分析儀
SE200BM 橢偏薄膜分析儀
SE200-MSP 橢偏薄膜分析儀
SE300BM 橢偏薄膜分析儀
SE500BA 橢偏薄膜分析儀
MSP100 薄膜分析儀
MSP300 薄膜分析儀
MSP500 薄膜分析儀
uRaman TechnoSpex-拉曼光譜儀及模塊
膜面阻：
EddyCus®-TF lab 2020、
EddyCus®-TF lab 4040、
EddyCus®-TF map 2020SR、
EddyCus®-TF map Hybrid 、
EddyCus®-TF inline、
EddyCus®-TF lab Hybrid
定制型
