結構:主要由Y軸大理石直線電機模塊及Z軸精密移動模塊組成,還包括涂布頭,涂布頭調節(jié)模塊,注液模塊,風刀模塊及電控部分組成。工藝:所選涂料經過注液泵注入高精度涂布頭,基材在大理石平臺上被真空吸附定位,涂布頭調平后直線電機平臺裝載基材移動,完成基片均勻涂布。