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等離子蝕刻機
報價：面議
| 品牌： | 北京杰能達 |
| 產地： | 北京 |
| 關注度： | 1248 |
| 型號： | 等離子蝕刻機 |
產品介紹
用于快速均勻硅蝕刻
利用定向的氟自由基束中短壽命且高活躍度的F-自由基
腐蝕率：200mm晶圓腐蝕率為3μm/min, 300mm晶圓腐蝕率為2.5μm/min
腐蝕率受膠帶材質限制，無膠帶情況下可達5μm/min
TTV(總厚度變化)：300mm晶圓，硅的厚度從10μm減少至1μm
通過同步旋轉和氟的方位角位移來調節氟自由基束的均勻性
可選脈沖等離子模式和直流等離子模式
采用基于CF4的化學蝕刻用于含銅等金屬的硅刻蝕
具有可調真空區域的真空吸盤可處理100/150/200/300mm尺寸的晶圓
真空吸盤可控制溫度
刻蝕超薄晶圓可以使用鋸架
問商家
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供應產品
北京杰能達機電設備有限公司為您提供北京杰能達等離子蝕刻機，等離子蝕刻機產地為北京，屬于制樣/消解設備，除了等離子蝕刻機的參數、價格、型號、原理等信息外，還可為您提供915MHZ 30KW微波發生器、微波電源（開關模式）MX6000D-154KL、2450MHz固態微波發生器。
工商信息
企業名稱
北京杰能達機電設備有限公司
企業類型
信用代碼
91110106671722514W
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍
