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新一代磁控濺射卷繞鍍膜設備
報價:面議
| 品牌: | 中科唯實 |
| 產地: | 四川 |
| 關注度: | 1843 |
| 型號: | 新一代磁控濺射卷繞鍍膜設備 |
產品介紹
主要技術指標:
基材厚度:PET:10-125μm;PI:8-75μm
有效鍍膜幅寬:1300mm
6組濺射陰極,其中1組孿生陰極
純金屬濺射靶材利用率≥35%;反應濺射靶材利用率≥30%;
真空抽率:卷繞室從大氣狀態到2×10-2Pa,需要時間≤35min
鍍膜室(清潔、空載)極限壓力:≤5×10-4 Pa;
卷繞室壓升率(清潔、空載):≤0.5Pa/hr(深冷冷阱工作)
放、收卷徑:400mm(**);放、收卷芯軸直徑:6 inch(150mm) ;
反饋控制:磁控濺射反饋補氣響應時間≤45μs
鍍膜均勻性,重復性測試:在1250mm幅寬范圍內濺射均勻性≤±3%
反應濺射氣體反饋控制系統(可選):實現對反應濺射的精細控制;
前處理:烘烤解熱和線性離子源
在線光學反射率傳感系統或歐姆測量傳感系統
張力控制范圍:0-500N ,控制精度:±1%
基膜走速:0.5—10米/分鐘
問商家
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工商信息
企業名稱
成都中科唯實儀器有限責任公司
企業類型
信用代碼
915101007323523944
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍







