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DSP EFEM設備
報價:面議
品牌: 日揚弘創
產地: 北京
關注度: 1247
型號: DSP EFEM設備
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產品介紹

外形尺寸:3830mm(W)x1990mm(L)x2770mm(H)

重復定位精度:±0.05mm

上料效率節拍:≤7s

下料效率節拍:≤7s

適用范圍:12 寸半導體硅片

設備針對12寸半導體硅片的拋光(Polishing)工序,是DSP工具的前端模塊EFEM)設備,實現自動上下料、檢查等功能。整個設備融合了晶圓裝載口、專用潔凈型機器人、視覺定位系統、梨痕檢測系統、自動讀碼功能、自動控制信息管理系統,實現高精度自動取、放、翻轉等功能。設備通過陶瓷叉臂、橡膠吸盤及碳纖維抓手多種組合方式來實現裂紋檢測、自動上料及自動下料多種工況下的晶圓精準取放。

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北京日揚弘創智能裝備有限公司為您提供日揚弘創DSP EFEM設備,DSP EFEM設備產地為北京,屬于半導體行業專用儀器,除了DSP EFEM設備的參數、價格、型號、原理等信息外,還可為您提供分選機、Unpacking、手機/平板 PCBA 自動測試機。
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北京日揚弘創智能裝備有限公司

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91110115694970035T

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