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全自動單片清洗機
報價：面議
| 品牌： | |
| 產地： | 無錫 |
| 關注度： | 1326 |
| 型號： | 全自動單片清洗機 |
產品介紹
1、用于硅、碳化硅、氮化鎵等半導體材料的單片腐蝕、清洗、刷洗工藝。
2、機臺可實現多尺寸兼容(4&6寸;6&8寸;8&12寸)。
3、工藝腔體經過優化設計，高性能FFU,配合可調節高度的CUP,形成一個穩定強度的downflow，嚴格控制wafer表面工藝區域的動態環境。
4、可以實現藥液(酸/堿/有機)的排廢分離，無藥液的交叉污染。
5、可適用襯底及外延清洗、PRstrip、Oxideremoval等工藝。
6、支持 GEM/SECS 協議，支持MES 系統聯機。
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聯盛半導體科技（無錫）有限公司為您提供全自動單片清洗機，全自動單片清洗機產地為無錫，屬于清洗機，除了全自動單片清洗機的參數、價格、型號、原理等信息外，還可為您提供全自動深度腐蝕機、立式甩干機、全自動去邊清洗機。
工商信息
企業名稱
聯盛半導體科技（無錫）有限公司
企業類型
信用代碼
91320205MACHQ5YF9F
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍
