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型號： 電子束曝光系統——Pharos 310

型號： 圖形發生器——Pharos Ex

型號： 掃描電鏡超低溫冷臺 ——GSC MK系列

型號： 陰極熒光成像與光譜探測系統——Rainbow

型號： 陰極熒光成像系統——Sunny