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腔體合成爐
報價:面議
品牌: 中科漢達
產地: 遼寧
關注度: 847
型號: 腔體合成爐
核心參數

非金屬電熱元件:其他

金屬電熱元件:其他

燒結氣氛:其他

最高溫度:2400℃

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產品介紹

適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長,采用中頻感應電源加熱方式,上取放料、坩堝軸快慢速移動。

技術參數

生長工藝

PVT

生長尺寸

6-8英寸

產品類型

非標定制

加熱方式

感應加熱(中頻感應加熱)

**溫度

2400℃

系統停泵關機12小時后真空度

≤5Pa

控制方式

PLC集成控制

系統極限真空度

≤7×10-5 Pa (經烘烤除氣后)

系統真空檢漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷卻方式

循環水路系統

適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長,采用中頻感應電源加熱方式,上取放料、坩堝軸快慢速移動。內壁氬弧焊接,內表面鏡面拋光,反射熱量,減少功率損耗,減少氣體附著。自主研發控制系統,實現自動化穩定、安全、操作便捷。適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長,采用中頻感應電源加熱方式,上取放料、坩堝軸快慢速移動。內壁氬弧焊接,內表面鏡面拋光,反射熱量,減少功率損耗,減少氣體附著。自主研發控制系統,實現自動化穩定、安全、操作便捷。

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工商信息
企業名稱

沈陽中科漢達科技有限公司

企業類型

信用代碼

91210112MA0Y9E0M57

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成立日期

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