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設備特點：

• 1 電阻式碳化硅-單晶爐，電阻式石墨加熱，改進型Lely方法的升華長晶技術，物理氣相傳輸法(PVT)生長碳化硅單晶晶體；

• 2 采用前出料結構形式設備整體操作簡單、布局合理，制造、裝配過程均有嚴格品控；

• 3 主要組成部件：爐室組件、傳動系統、加熱系統、氣路系統、真空系統、冷卻系統、自動控制系統、報警系統、人機界面系統等；

• 4 自主研發的全自動計算機控制系統，可實現抽空、檢漏、爐壓、工藝氣體流量控制、長晶過程的自動控制。

加熱系統：

• 石墨加熱器配置：上下兩組獨立石墨電阻加熱器,獨立溫控，工藝亦可上下加熱器同時溫度 控制，上方15KW修飾加熱器可修飾坩堝徑向溫度梯度，主加熱器 60KW x 2 控制軸向溫度梯度 

• 控制組件：PLC+PID（人機界面）

• 控制模式：溫度控制/功率控制

•  溫度檢測：紅外檢測儀，上下各配置一個，上測溫儀可移動量測坩堝邊緣溫度， 可以得到籽晶區徑向溫度梯度

• 加熱功率：上方加熱器15KW，下側主加熱器60KW x 2 

• **溫度：2400℃

• 溫控范圍：1000-2400℃，精度：±1℃

• 溫控功率精度：滿量程范圍內為設定值的±0.1% W

  
  

自動控制系統：

• 組成：集成機柜+泵閥操作單元+真空測量單元+加熱控制單元+提升旋轉控制單元+水路 檢測單元+進氣及壓力控制單元+報警單元 

• 關鍵制程數據實時采集保存（溫度、壓力、加熱功率、電流等，保存周期≥1年） 

• 其他非關鍵設備參數實時采集保存（保存周期≥3個月） 

• 具備溫度，壓力，電流，功率等制程參數實時采集并生成曲線 

• 報警記錄，操作日志保存（保存周期≥6個月） 

• 可設定多組Recipe和離線編輯配置recipe 

• 壓力單位顯示為torr 

• 可遠程監控設備運行狀態，可與生產系統連接 

• 具備用戶登錄及賬戶管理系統，可以為不同的賬戶分配不同的權限