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該套設備由7部分構成：1、透光立式爐；2、進氣系統；3、金屬反應器；4、石英反應器；5、鼓泡罐；6、氣液分離罐；7、控制系統。

1、透光立式爐：設計溫度：1000℃，使用溫度：900℃；透光孔直徑30mm；加熱區長度200mm，對開式結構；

2、進氣系統：北京七星質量流量計，量程100mL/min，氣體種類：氫氣和氮氣各一路；其中氮氣經過鼓泡罐，出口帶電伴熱帶；

3、金屬反應器：外徑20mm，內徑φ10mm，長度500mm，材質：316L；設計溫度500℃，設計壓力3MPa，使用壓力2.5MPa；爐管上方配壓力傳感器（0-4MPa量程）+安全閥（3MPa泄壓）；爐管下方配針閥；氣體上進下出，中間催化劑床層為石英棉；

4、石英反應器：外徑15mm，內徑φ10mm，長度500mm，材質：石英；設計溫度800℃，設計壓力常壓，使用壓力常壓；爐管上方配真空機械壓力表；爐管下方配氣液分離罐；氣體上進下出，中間催化劑床層為石英棉；

額外配備異型石英管：外徑15mm，內徑φ10mm，長度500mm，中間為扁狀結構，尺寸30*30mm。材質：石英；

5、鼓泡罐：容積100mL，材質：304，設計壓力：常壓；帶法蘭蓋；

6、氣液分離罐：容積50mL，材質：304，設計壓力：常壓；帶法蘭蓋；外部帶水冷夾套（需額外配水冷機）；

7、控制系統：分別由顯示操作模塊、加熱模塊、氣路模塊、進氣伴熱模塊組成；顯示操作模塊采用高清10寸MCGS觸摸屏做集成系統，操作簡單明了；加熱模塊和進氣伴熱模塊采用先進的PID控制模塊，控溫精準；氣路模塊采用質量流量計進氣。