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碳化硅陶瓷載盤
報價:面議
品牌: 晶沐光電
產地: 江蘇
關注度: 792
型號: 碳化硅陶瓷載盤
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產品介紹

碳化硅陶瓷載盤

厚度

0.75mm

直徑

156mm

氣孔徑

<5 μm

雙面平面度

≤15 μm

TTV

≤3 μm,5點量測

平行度

≤15 μm

翹曲度要求

90℃- 250℃ 宏觀目視不翹曲變形

密度

1.8~2.4 g/cm3

氣孔率

30%-50%

抗折強度

≤65 Mpa

熱膨脹系數

7.5 (10-6/℃)

透氣性要求

空吸:真空度≥ -30 Kpa
放置Wafer 在 SIC載盤上:真空度 ≤-60 Kpa

外觀

1.全周去毛邊,銳角倒鈍
2.無缺角
3.刮傷:W≤0.03mm&L≤3mm,N≤2


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江陰晶沐光電新材料有限公司為您提供晶沐光電碳化硅陶瓷載盤,碳化硅陶瓷載盤產地為江蘇,屬于碳化硅粉,除了碳化硅陶瓷載盤的參數、價格、型號、原理等信息外,還可為您提供金剛石多晶、碳化硅襯底、石英光學窗口JGS1。
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江陰晶沐光電新材料有限公司

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91320281MA1P72BM5H

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