1 年
高級會員
已認證
高精密電子束蒸發鍍膜機
報價：面議
| 品牌： | 匯成真空 |
| 產地： | 廣東 |
| 關注度： | 475 |
| 型號： | 高精密電子束蒸發鍍膜機 |
產品介紹
在玻璃/PC/PMMA基片上形成高精度光學多層薄膜的精密真空鍍膜機；將滿足客戶需求的多種元件組合在一起，可以形成品質更加優良的薄膜；基片傘架采用中心旋轉方式(公轉)，減少產生振動和顆粒，使基片能夠穩定旋轉。
采用坩堝上沒有極片的電子束加熱方式作為蒸發源，可以穩定地形成多層膜；采用本公司獨有的比率控制法和多點在線監控，可以形成高精度且穩定的光學多層膜；可利用操作性良好的升降機來取出基片傘架。
使用均勻分布的高離子電流密度的離子源，搭載雙電子槍，多點和環型坩堝可鍍100層以上，利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程，工件架可選擇鐘罩式或行星式。
AR 膜（基材玻璃透過率＞91.5%）：
■ 420-680nm波段，單面平均透過率＞95%，反射率小于0.5（平均值）% ；
■ 雙面平均透過率＞98%，反射率小于0.5（平均值）%；
AS/AF膜測試標準：
■ 初始接觸角范圍為 115±5°；
■ 鋼絲絨耐摩擦測試標準：用 0000#鋼絲絨，面積為 10*10mm,行程 40 次/分，負載1Kg，5000 次往返摩擦后，接觸角大于 100°；
■ 橡皮擦測試標準： 直徑 6mm 橡皮擦，行程 25 次/分，負載1Kg， 2500 次往返摩擦后，接觸角大于 100°；
備注：測試樣片玻璃需為經過精密拋光過的觸摸屏蓋板專用玻璃，表面光潔。
優勢：
?提高沉積速率以實現更高產量
?在半導體，光電和光子學領域實現高精度工藝
?堅固耐用且易于維護
| 規格 | |
| 型號 | HCEB-1100 |
| 腔體尺寸 | Φ1100 x H1520 |
| 裝載量 | 0.8 m2 |
| 結構 | 立式前開門，SUS304不銹鋼 |
| 性能 | |
| 轉速 | 10~30RPM（可變） |
| 抽速 | 大氣壓至1.5×10-3Pa≤30min |
| 極限真空度 | 8.0×10-5Pa |
| 膜料 | TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn... |
| 主要配置 | |
| 夾具系統 | 中心上旋轉傘架，單體或分體 |
| 加熱系統 | 鹵素燈 / 鎧裝加熱器，**350℃ |
| 排氣系統 | 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵 / Polycold |
| 真空控制系統 | 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計 |
| 鍍膜系統 | 電子槍，無氧銅坩鍋，阻抗式蒸發源，射頻/考夫曼型/霍爾型離子源 |
| 充氣系統 | MFC或APC自動壓強控制儀 |
| 膜厚控制儀 | 晶控或光控 |
| 控制系統 | PC+PLC |
| 應用 | |
| 光學薄膜應用 | UV/IR截止濾光片、裝飾膜、帶通濾光片、RGB濾光片、光觸媒、HR膜等 |
| 適用波長 | 300nm~1560nm |
| 注：可客制化（數據僅供參考） | |
問商家
- 高精密電子束蒸發鍍膜機的工作原理介紹？
- 高精密電子束蒸發鍍膜機的使用方法？
- 高精密電子束蒸發鍍膜機多少錢一臺？
- 高精密電子束蒸發鍍膜機使用的注意事項
- 高精密電子束蒸發鍍膜機的說明書有嗎？
- 高精密電子束蒸發鍍膜機的操作規程有嗎？
- 高精密電子束蒸發鍍膜機的報價含票含運費嗎？
- 高精密電子束蒸發鍍膜機有現貨嗎？
- 高精密電子束蒸發鍍膜機包安裝嗎？
廣東匯成真空科技股份有限公司為您提供匯成真空高精密電子束蒸發鍍膜機，高精密電子束蒸發鍍膜機產地為廣東，屬于半導體行業專用儀器，除了高精密電子束蒸發鍍膜機的參數、價格、型號、原理等信息外，還可為您提供原子層沉積（ALD）鍍膜機、多腔磁控濺射光學鍍膜機、高精密多腔磁控濺射光學鍍膜機。
工商信息
企業名稱
廣東匯成真空科技股份有限公司
企業類型
信用代碼
91441900791240616U
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍
