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1200℃集成型自動小型PECVD系統(tǒng)
報價:20-30萬元
| 品牌: | 中環(huán) |
| 產(chǎn)地: | 天津 |
| 關(guān)注度: | 4559 |
| 型號: | 1200℃集成型自動小型PECVD系統(tǒng) |
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品用途
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。
PECVD系統(tǒng)配置;
1.1200度開啟式滑動單溫區(qū)真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
4.真空系統(tǒng)(單獨購買)
產(chǎn)品特性;
電源范圍廣;溫度范圍寬;濺射區(qū)域長;整管可調(diào);精致小巧,性價比高,可實現(xiàn)快速升降溫,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等的理想選擇,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。


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推薦產(chǎn)品
供應(yīng)產(chǎn)品
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工商信息
企業(yè)名稱
天津中環(huán)電爐股份有限公司
企業(yè)類型
信用代碼
91120113700587236G
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經(jīng)營范圍









