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1200度小型PECVD系統
報價:20-30萬元
| 品牌: | 中環 |
| 產地: | 天津 |
| 關注度: | 4922 |
| 型號: | 1200度小型PECVD系統 |
產品介紹
產品用途
PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。
產品組成
PECVD系統配置;
1.1200度開啟式滑動單溫區真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質量流量控制系統
4.真空系統(單獨購買)
產品特點
電源范圍廣;溫度范圍寬;濺射區域長;整管可調;精致小巧,性價比高,可實現快速升降溫,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。


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供應產品
天津中環電爐股份有限公司為您提供中環1200度小型PECVD系統,1200度小型PECVD系統產地為天津,屬于實驗電爐,除了1200度小型PECVD系統的參數、價格、型號、原理等信息外,還可為您提供可視化高溫形變分析儀TA-1601、1600℃多溫區梯度管式電爐、1800℃不銹鋼節能箱式電爐。
工商信息
企業名稱
天津中環電爐股份有限公司
企業類型
信用代碼
91120113700587236G
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍









