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型號： 溶液成長法單晶生長設備（TSSG法）

型號： 快速高溫退火設備RTA RSA-06

型號： 全自動晶片減薄機SGM-9100

型號： MIST-CVD氧化物薄膜沉積設備 M150A

型號： 高還原性低溫熱壓對準鍵合設備 MAFP

型號： 高還原性低溫熱壓鍵合設備 FATB

型號： 碳膜濺射設備 CS-200

型號： 激活退火設備 Ailesic-2000

型號： 光阻去除設備 NA-8000

型號： 濺射設備 SME-200J