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產(chǎn)品介紹

澤攸科技ZS系列臺階儀作為國產(chǎn)高精度表面測量設(shè)備的創(chuàng)新之作，憑借升級的技術(shù)架構(gòu)、更廣泛的應(yīng)用場景及更穩(wěn)定的測量性能，可對微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度 LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域有著深度應(yīng)用。

作為國產(chǎn)科學(xué)儀器的進(jìn)階成果，ZS系列臺階儀進(jìn)一步鞏固了在高端表面測量設(shè)備領(lǐng)域的國產(chǎn)替代優(yōu)勢，憑借更高精度表現(xiàn)與定制化服務(wù)優(yōu)勢，成為國內(nèi)高校、科研機(jī)構(gòu)及高端制造企業(yè)的優(yōu)選設(shè)備。

特點(diǎn)

量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設(shè)計(jì)、售后便捷、極高性價(jià)比

應(yīng)用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描

系統(tǒng)組成

▲ 一體式臺階儀

選配品

▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

技術(shù)參數(shù)

軟件界面

掃描圖

18nm樣品

68um樣品