壓電驅動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運動促動元件，可以在數百毫米范圍內實現亞納米級別的步長，從而解決了傳統納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導體市場、先進制造業、生物醫藥行業、光學、通信等行業有廣泛應用。

自主研發的壓電驅動納米位移臺，具有運動無需潤滑，真空兼容，可在從液氦溫區（-269攝氏度）至室溫的寬溫區內工作等優點。具有步進和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

線性壓電納米位移臺ML-15A大行程直線位移臺，不僅擁有緊湊的安裝尺寸，同時還兼具低溫真空等應用環境。支持定制納米位移臺。

產品優勢

• 結構緊湊，高剛性

• 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

• 室溫到液氦工作溫度，真空兼容

• 壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命

• 帶位移傳感器，提供位置和速度閉環控制

產品應用

電子顯微鏡原位納米探針臺，半導體芯片檢測，光刻機工件臺，微生物操縱手，光纖焊接