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岡本OKAMOTO 全自動拋光機
報價:面議
品牌:
產地: 日本
關注度: 398
型號: PNX332B
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產品介紹

PNX332B 是全自動通用拋光型設備,不僅可以處理氧化層和金屬膜,而且可以去除晶圓表面損傷層。該機型搭載有8個拋光頭,3個拋光臺,同時可以對6片晶圓進行拋光,同時搭載3個拋光液料桶,分別給每個拋光臺提供拋光液,每個拋光臺可以根據客戶需求進行粗拋或者精拋,每個拋光臺都配有拋光液和純水的管路,可以自動切換純水或者拋光液。該機型在全球12寸硅片襯底的拋光占有率達到80%以上,今后也會將會在8寸碳化硅襯底的全自動拋光做出應有貢獻!

PNX332B 是全自動通用拋光型設備,不僅可以處理氧化層和金屬膜,而且可以去除晶圓表面損傷層。該機型搭載有8個拋光頭,3個拋光臺,同時可以對6片晶圓進行拋光,同時搭載3個拋光液料桶,分別給每個拋光臺提供拋光液,每個拋光臺可以根據客戶需求進行粗拋或者精拋,每個拋光臺都配有拋光液和純水的管路,可以自動切換純水或者拋光液。該機型在全球12寸硅片襯底的拋光占有率達到80%以上,今后也會將會在8寸碳化硅襯底的全自動拋光做出應有貢獻!


性能參數

規格
PNX332B
設備尺寸(W×D×H)mm2440×3260×2200
拋投數量-6枚
加工材料-硅、Sic碳化硅晶片
**加工尺寸mmφ300


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工商信息
企業名稱

一橋半導體科技(蘇州)有限公司

企業類型

信用代碼

91320594MAC2JX151C

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