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岡本OKAMOTO半自動CMP化學機械拋光機
報價:面議
品牌:
產地: 日本
關注度: 421
型號: SPP800S
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產品介紹

 SPP800S 是半自動通用拋光型設備,不僅可以處理氧化層和金屬膜,而且可以去除晶圓表面損傷層。該機型裝備有兩個拋光頭和一個定盤修正頭,可實現高的吞吐量。它具有獨特的軟件和觸摸屏,使用操作方便。


產品特點

 SPP800S 是半自動通用拋光型設備,不僅可以處理氧化層和金屬膜,而且可以去除晶圓表面損傷層。該機型裝備有兩個拋光頭和一個定盤修正頭,可實現高的吞吐量。它具有獨特的軟件和觸摸屏,使用操作方便。



性能參數

項目參數

加工材料

硅晶片、電子部品、脆性材料

適用晶圓尺寸

3 - 8 英寸

設備尺寸

1380 (W) x 1210 (D)* x 1873 (H)

廠務條件

10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz

壓縮空氣壓力

 ≧5.0 Kg/cm?

去離子水壓力1.0-1.5Kg/cm?
去離子水流量 5 升/分鐘
排氣量3m?/分鐘
冷卻水(真空泵用)壓力:2.0Kg/cm?
流量大于3 升/分鐘
冷卻水(拋光定盤冷卻系統用)2.0Kg/cm?
流量大于3 升/分鐘



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工商信息
企業名稱

一橋半導體科技(蘇州)有限公司

企業類型

信用代碼

91320594MAC2JX151C

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成立日期

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有效期限

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