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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450
報價:面議
品牌: 北京泰科諾
產地: 北京
關注度: 1501
型號: 熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450
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產品介紹

設備名稱:熱絲 CVD 金剛石膜沉積設備

設備型號:HF450

真空腔室結構:立式前開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷

真空腔室尺寸:Φ450mmxH500mm

真空系統:復合分子泵高真空系統

基片臺尺寸:Φ100mm

襯底溫度:600 ~ 1100℃

電源:專用熱絲電源 400A, 恒流或恒功率模式

氣路控制:4 路氣體流量控制

控制方式:PLC 觸摸屏控制

占地面積:主機 L1200mm×W1060mm×H1900mm

總功率:≥ 20kW


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工商信息
企業名稱

北京泰科諾科技有限公司

企業類型

信用代碼

9111011475217349XB

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