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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF1200重點
報價:面議
品牌: 北京泰科諾
產地: 北京
關注度: 1532
型號: 熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF1200
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產品介紹

設備名稱:熱絲 CVD 金剛石膜沉積設備

設備型號:HF1200

真空腔室結構:立式前開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷

真空腔室尺寸:Φ1200mmxH1200mm

真空系統:高真空泵組系統

基片臺尺寸:Φ500mm2×600mm2 方形基片臺(旋轉、升降可選)

襯底溫度:600 ~ 1100℃

電源:專用熱絲電源 2200A, 恒流或恒功率模式

氣路控制:4 路氣體流量控制

控制方式:PC+PLC+ 觸摸屏控制

占地面積:主機 L5000mm×W3000mm×H4000mm

總功率:≥ 300kW

設備名稱:熱絲 CVD 金剛石膜沉積設備

設備型號:HF1200

真空腔室結構:立式前開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷

真空腔室尺寸:Φ1200mmxH1200mm

真空系統:高真空泵組系統

基片臺尺寸:Φ500mm2×600mm2 方形基片臺(旋轉、升降可選)

襯底溫度:600 ~ 1100℃

電源:專用熱絲電源 2200A, 恒流或恒功率模式

氣路控制:4 路氣體流量控制

控制方式:PC+PLC+ 觸摸屏控制

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北京泰科諾科技有限公司為您提供北京泰科諾熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF1200,熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF1200產地為北京,屬于半導體行業專用儀器,除了熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF1200的參數、價格、型號、原理等信息外,還可為您提供真空電弧爐VDK250、高真空磁控濺射鍍膜設備JCPY500、磁控蒸發復合鍍膜機JCPF2600,泰科諾客服電話400-810-00694101,售前、售后均可聯系。
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企業名稱

北京泰科諾科技有限公司

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信用代碼

9111011475217349XB

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