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青島華旗科技有限公司專業(yè)的半導體工藝設備及先進材料專用設備研發(fā)、制造廠家。主要產(chǎn)品系列:擴散爐、氧化爐、LPCVD化學氣相沉積、HVPE晶體生長、真空爐及半導體廢氣處理等。致力于為半導體集成電路分立器件、太陽能電池、半導體照明LED及磁性材料廠家提供先進的專用設備,工藝含蓋化合物半導體晶體生長、外延、薄膜淀積(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化擴散退火(含快速退火工藝)合金、真空燒結(jié)等工藝。我公司制造的半導體工藝設備覆蓋一、二、三代半導體材料-硅、砷化鎵、氮化鎵等等,高性能磁性材料真空設備(釤鈷、釹鐵硼等),同時承擔了部分國家863項目(如半導體白光照明GaN生長的HVPE設備等)。華旗科技擁有
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