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1 年

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已認(rèn)證

垂直氧化爐
報(bào)價(jià):面議
品牌: 華旗科技
產(chǎn)地: 山東
關(guān)注度: 1138
型號(hào): 垂直氧化爐
核心參數(shù)

非金屬電熱元件:其他

金屬電熱元件:其他

燒結(jié)氣氛:其他

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產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品性能:

*垂直結(jié)構(gòu),5~50片/批

*穩(wěn)定優(yōu)良的成膜均勻性,重復(fù)性好

*微環(huán)境低氧控制先進(jìn)技術(shù)

*硅片顆粒度控制穩(wěn)定,國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

*多工藝選擇,模塊化,操作便利

*全自動(dòng)流程,盒對(duì)盒,AGV對(duì)接

*高集成度,符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標(biāo)準(zhǔn)

配套工藝:

*氧化:干氧/濕氧(DCE, HCL),氮、氫退火,合金、固化,快速熱退火

*多晶硅P-Si,氮化硅Si3N4,氧化硅SiO2,磷硅玻璃PSG,硼磷硅玻璃BPSG

*TEOS,LTO,HTO,SIPOS...


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型號(hào): 水平管式真空爐

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青島華旗科技有限公司為您提供華旗科技垂直氧化爐,垂直氧化爐產(chǎn)地為山東,屬于粉體焙燒爐,除了垂直氧化爐的參數(shù)、價(jià)格、型號(hào)、原理等信息外,還可為您提供垂直氧化爐—8寸、氫破爐、垂直真空氣氛爐。
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91370214697159379Q

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