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真空爐

• 高溫退火爐
• 水平真空氣氛爐
• 垂直真空氣氛爐
• 水平多室真空氣氛爐
• 垂直雙室真空氣氛爐
• 水平管式真空爐

箱式爐

• 垂直氧化爐—8寸
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• 高溫氧化爐
• 科研型擴散爐

粉體焙燒爐

• 垂直氧化爐
• 水平氧化擴散爐1
• 氣氛燒結爐
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氣體發生器/氣體處理

• 氨分解廢氣處理
• 濕法廢氣處理

半導體行業專用儀器

• HVPE氣相外延
• 水平LPCVD氣相沉積

石墨烯

• 石墨烯LPCVD

其他

• 高壓晶體生長