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垂直氧化爐—8寸
報價:面議
| 品牌: | 華旗科技 |
| 產地: | 山東 |
| 關注度: | 1422 |
| 型號: | 垂直氧化爐—8寸 |
核心參數
非金屬電熱元件:其他
金屬電熱元件:其他
燒結氣氛:氧氣
產品介紹
垂直氧化系統用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領域,6"、8"晶圓的氧化、合金、退火等工藝。
產品性能:
*垂直結構,高效產能,150片/批
*穩定優良的成膜均勻性,重復性好
*微環境低氧控制先進技術
*硅片顆粒度控制穩定,國際標準
*全自動流程,盒對盒,AGV對接
配套工藝:
*氧化:干氧/濕氧(DCE, HCL)
*氮、氫退火,燒結、合金,固化等
*快速熱退火
問商家
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供應產品
青島華旗科技有限公司為您提供華旗科技垂直氧化爐—8寸,垂直氧化爐—8寸產地為山東,屬于箱式爐,除了垂直氧化爐—8寸的參數、價格、型號、原理等信息外,還可為您提供氫破爐、垂直真空氣氛爐、HVPE氣相外延。
工商信息
企業名稱
青島華旗科技有限公司
企業類型
信用代碼
91370214697159379Q
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍








