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去膠剝離機
報價:面議
品牌: 大族半導(dǎo)體
產(chǎn)地: 廣東
關(guān)注度: 719
型號: 去膠剝離機
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產(chǎn)品介紹

主要特點:

設(shè)備特點:

1、槽式浸泡與單片旋轉(zhuǎn)噴淋方式相結(jié)合,提高產(chǎn)能

2、高壓或二流體噴淋可徹底除去光刻膠

3、基片干進濕傳干出

4、去膠液回收、循環(huán)過濾再使用,降低用戶成本

5、貴重金屬回收

主要參數(shù):

主要參數(shù)

片盒數(shù)量

2CS&2LP

配置

1Soak+1Stripper+1cleaning

wafer 類型

圓片,方片

wafer 尺寸(mm)50-300
產(chǎn)能(WPH)40
化學(xué)藥液

NMP、DMSO

襯底材料Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
適用工藝Lift-off、stripper
干燥模式Spin Dry+N2 Dry


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工商信息
企業(yè)名稱

廣東大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司

企業(yè)類型

信用代碼

91440300MA5ERHJL5B

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