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碳化硅晶圓改質切割設備
報價:面議
品牌: 大族半導體
產地: 廣東
關注度: 991
型號: 碳化硅晶圓改質切割設備
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產品介紹

主要特點:

設備特點:

1、特制激光系統 

2、優異的切割效果

3、全自動生產

4、高精度視覺系統;自動對位,自動尋焦

5、高精密運動平臺

6、兼容4/6inch生產

7、SECS GEM標準接口

主要參數:

主要參數加工尺寸4inch、6inch晶圓
加工速度400-1000mm/s
加工精度±1μm
平臺參數行程300mm×300mm

重復定位精度±0.001mm
θ軸重復定位精度±2arcsec

激光器參數紅外
稼動率98%以上
重大故障間隙時間>1000H
良率≥99.5%

加工效果:

   


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廣東大族半導體裝備科技有限公司為您提供大族半導體碳化硅晶圓改質切割設備,碳化硅晶圓改質切割設備產地為廣東,屬于切割機,除了碳化硅晶圓改質切割設備的參數、價格、型號、原理等信息外,還可為您提供全自動激光打孔機、12英寸雙軸全自動刀輪切割設備、飛秒激光增強玻璃蝕刻通孔機(FLEE-TGV)。
工商信息
企業名稱

廣東大族半導體裝備科技有限公司

企業類型

信用代碼

91440300MA5ERHJL5B

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