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雙傾角約瑟夫森結制備系統
報價：面議
| 品牌： | 韞茂科技 |
| 產地： | 福建 |
| 關注度： | 3209 |
| 型號： | QBT-J |
產品介紹
全自動四腔超高真空雙傾角鍍膜系統 QBT-J
約瑟夫森結超高壓系統
技術參數
| QBT-J 技術參數 Technical Specifications (雙傾角約瑟夫森結制備） | |
| 超高真空腔體 UHV Chamber | 4個UHV Chamber,包括Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation, 極限真空Ultimate Pressure<1E-9Torr |
| 基板加熱 Wafer Heating | RT-900℃ |
| 離子束清洗 Ion Milling | 考夫曼離子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV, Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蝕均一性<3% |
| 電子束蒸發 Ebeam Evaporation | UHV 5 Linear Pocket Ebeam Evaporation Source, 8KW Power Supply |
| 氧化 Oxidation | Flow and Static Mode Oxidation |
| 基板操控能力 Wafer Tilt and Rotation | 可實現180度傾斜及360度旋轉，0.1度的精準控制 |
| 基板傳輸 Wafer Transfer | 高度可靠和可重復的基板傳輸能力 |
| 人機界面 HMI | 全自動化人機操作界面 |
| 安全Safety | 工業標準安全互鎖Industry Safety Interlock，報警Alarm，EMO |
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廈門韞茂科技有限公司為您提供韞茂科技雙傾角約瑟夫森結制備系統，雙傾角約瑟夫森結制備系統產地為福建，屬于實驗設備，除了雙傾角約瑟夫森結制備系統的參數、價格、型號、原理等信息外，還可為您提供公斤級粉體原子層沉積鍍膜系統、超高真空多腔體磁控濺射系統、公斤級粉末ALD,韞茂科技客服電話400-810-0069轉1395，售前、售后均可聯系。
工商信息
企業名稱
廈門韞茂科技有限公司
企業類型
信用代碼
91350200MA31JEYQ4Y
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍
