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高真空磁控濺射系統(tǒng)
報價:面議
| 品牌: | 韞茂科技 |
| 產(chǎn)地: | 福建 |
| 關(guān)注度: | 3408 |
| 型號: | PVD-100 |
產(chǎn)品介紹
高真空磁控濺射系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù):
1高真空腔體:2個腔體,包括負荷鎖及Sputtering,極限真空,極限壓力<5e-9 Torr
2排氣速率:從ATM到1E-7 Torr<20分鐘(負載鎖)
3樣品臺:**4寸Wafer,可加熱RT-300oC
問商家
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供應產(chǎn)品
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工商信息
企業(yè)名稱
廈門韞茂科技有限公司
企業(yè)類型
信用代碼
91350200MA31JEYQ4Y
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