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超高真空多腔體磁控濺射系統
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| 品牌: | 韞茂科技 |
| 產地: | 福建 |
| 關注度: | 4638 |
| 型號: | QBT-MP |
產品介紹
超高真空多腔體磁控濺射系統

技術參數:
基板:可加熱至RT-900oC,可旋轉,基板與靶材距離連續可調,晶圓和靶空間可以連續變化
極限真空:<3E-9Torr
基板傳輸:高度可靠和可重復的基板傳輸能力
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工商信息
企業名稱
廈門韞茂科技有限公司
企業類型
信用代碼
91350200MA31JEYQ4Y
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍









